旋片式真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵，其主要的部件有泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等。旋片式真空泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種，等離子清洗機(jī)常用的是雙級(jí)旋片式真空泵，所謂雙級(jí)旋片式真空泵就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。

　　旋片式真空泵的泵腔內(nèi)偏心地裝有一個(gè)轉(zhuǎn)子，而轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切，同時(shí)轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)帶彈簧的旋片。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的彈力使旋片頂端與泵腔體內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。旋片式真空泵利用兩個(gè)旋片將泵腔體分為3個(gè)部分，因?yàn)檗D(zhuǎn)子是偏心安裝的，所以被分成的3個(gè)部分的空間會(huì)隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而變化，利用壓強(qiáng)差來達(dá)到抽氣的目的。

　　旋片式真空泵在真空等離子清洗機(jī)上大多數(shù)用在小型腔體（80L以下）或者作為真空泵組的前級(jí)泵。

　　旋片式真空泵具有以下這些優(yōu)點(diǎn)：

　　第一，旋片式真空泵在抽除腔體內(nèi)的干燥氣體的同時(shí)，也能抽除一定量的可凝性氣體和氣水混合物；

　　第二，結(jié)構(gòu)相對簡單，維護(hù)保養(yǎng)起來方便；

　　第三，體積小、重量較輕，便于安裝移動(dòng)；

　　第四，振動(dòng)微小，噪音低；

　　第五，價(jià)錢相對低一些等。

　　2.干式真空泵

　　干式真空泵是無油干式機(jī)械真空泵的簡稱。干式真空泵是不用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)工作介質(zhì)的一種真空泵。這樣使得干式真空泵在潔凈度方面更好，防止了油污染，所以干式真空泵大多用在對潔凈度要求比較高的真空等離子清洗機(jī)上，比如說半導(dǎo)體領(lǐng)域、生物醫(yī)療領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等。在真空等離子清洗機(jī)上常用的一種干式真空泵就是干式螺桿真空泵。

　　①干式螺桿真空泵

　　干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在真空泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生作用力來實(shí)現(xiàn)吸氣和排氣功能的真空泵。因?yàn)楦墒铰輻U真空泵在工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，所以在工作腔無需潤滑油。干式螺桿真空泵是一款性能優(yōu)秀的干式真空泵，具有許多比其他真空泵好的地方：

　　第一，干式螺桿真空泵的極限真空度很高，最高極限真空可達(dá)到1-2Pa；

　　第二，干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定，噪音低，故障率低，維護(hù)簡單；

　　第三，干式螺桿真空泵的一種工作腔和螺桿轉(zhuǎn)子表面均有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況。